超纯水处理
废水类型：超纯水处理
废水危害：
最近几年超大规模集成电路的生产有了快速发展，对超纯水的水质提出了更高的要求，超纯水中所含杂质的允许含量越来越低，同时需要控制的杂质种类也越来越多。为了有效去除各种杂质，需要各种处理手段的综合运用。
通常我们超纯水系统分为三部分：预处理，初级处理和抛光精制处理。
1.预处理系统通常由过滤、杀菌和防氧化工艺组成；
2.初步处理系统主要由反渗透、离子交换器、膜脱气、紫外设备等组成。
3.精制处理部分通常包括TOCUv、抛光混床、膜脱气以及终端超滤装置。
处理工艺说明：
原水通过管道接入原水箱经由提升泵输送至多介质过滤器，经过多介质过滤器的深层过滤降低原水中的浊度和SS后，进入活性炭过滤器吸附水中的余氯，防止对后端的膜组件氧化作用。原水中的悬浮颗粒经过预处理设备仍残留一些细小颗粒，故设置保安过滤器，起到保护RO膜的作用。过滤水通过高压泵提升至1级RO进行脱盐处理，其1级RO的产水含盐量还是很高，再通过高压泵提升至2级RO进行再一次脱盐处理将水中的盐分控制在10μs/cm以内达到进入EDI的水质标准，纯水进入EDI装置在直流电的推动下进行进一步的阴阳离子的去除，使纯水中存在的微量阴阳离子进一步去除。但是EDI的产水中还是会存在一些无法去除的微量阴阳离子，这些离子可以用抛光混床进行进一步去除，抛光混床中水的阳离子交换和阴离子交换是多次交错进行的。所以经H型交换所产生的H＋和经OH型交换所产生的OH－都不能累积起来，基本上消除了反离子的影响，交换反应进行得十分彻底，出水水质很高。1级抛光混床的产水进入纯水箱之后经纯水提升泵提升至Uv杀菌器，杀菌器中发出的紫外线光线能使某些有机化合物的化学键断开，生化性能发生根本变化，从而达到消毒效果。经过Uv杀菌后的超纯水再次进入2级抛光混床进行离子交换。系统终端的精密过滤器不仅可滤除杀死的细菌，还可滤除水中一定粒径的颗粒，起到使用点前亚过滤的作用。
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